電學(xué)檢測原理：通過給半導(dǎo)體器件施加電壓或電流，測量其電學(xué)參數(shù)，如電阻、電容、電感、電流 - 電壓特性等，來判斷器件的性能和質(zhì)量。例如，半導(dǎo)體電阻式傳感器就是利用半導(dǎo)體材料的電阻變化來檢測物理量的變化 。半導(dǎo)體檢測設(shè)備

光學(xué)檢測原理：利用光與半導(dǎo)體材料的相互作用，如反射、折射、吸收、散射等，來獲取半導(dǎo)體的信息。例如，通過分析半導(dǎo)體材料對特定波長的光的吸收程度，可以確定材料的成分和濃度；利用激光散射技術(shù)可以檢測半導(dǎo)體表面的粗糙度和缺陷 。

聲學(xué)檢測原理：利用超聲波在半導(dǎo)體材料中的傳播特性，如聲速、衰減、反射等，來檢測材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。聲學(xué)檢測技術(shù)對于檢測半導(dǎo)體材料中的微小缺陷和分層等問題具有較高的靈敏度。