半導(dǎo)體組裝和封裝過(guò)程中選擇的質(zhì)量檢測(cè)方法通常包括目視檢查、自動(dòng)光學(xué)測(cè)試、飛針測(cè)試、針床測(cè)試和功能測(cè)試。然而,隨著封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,傳統(tǒng)的測(cè)試方法早已無(wú)法滿足各種先進(jìn)封裝設(shè)備的測(cè)試要求。以半導(dǎo)體芯片封裝為例,CSP的種類越來(lái)越多,包括柔性封裝、引線框架、剛性基板、網(wǎng)格引線和微調(diào)CSP。不同的CSP結(jié)構(gòu)不同,但技術(shù)基本都是基于翻轉(zhuǎn)芯片鍵合(FCB)和球柵陣列(BGA)。
首先,倒裝芯片焊接技術(shù)的電連接方式有三種:焊球凸塊法,熱壓焊接法和導(dǎo)電粘合劑。無(wú)論采用哪種方式,在封裝過(guò)程中都是看不到不均勻連接的。此外,在封裝過(guò)程中,長(zhǎng)時(shí)間暴露在空氣中容易引起氧化,所有的連接點(diǎn)都可以出現(xiàn)裂紋、無(wú)連接、焊點(diǎn)間隙、電線和電線過(guò)剩壓力焊接缺陷連接焊點(diǎn)。以及模具和連接界面的缺陷等。此外,在封裝過(guò)程中,硅晶片還會(huì)由于壓力而產(chǎn)生微裂紋,并且膠水還會(huì)通過(guò)導(dǎo)電膠產(chǎn)生氣泡。這些問(wèn)題將對(duì)集成電路的質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。
通常情況下,如果這些表面缺陷是不可見(jiàn)的,傳統(tǒng)的檢測(cè)技術(shù)無(wú)法區(qū)分它們。傳統(tǒng)的電氣功能測(cè)試需要對(duì)測(cè)試對(duì)象的功能有清晰的了解,需要非常專業(yè)的測(cè)試技術(shù)人員。此外,電功能測(cè)試設(shè)備測(cè)試成本非常復(fù)雜,測(cè)試的有效性取決于測(cè)試人員的技術(shù)實(shí)力,這給集成電路的封裝和測(cè)試帶來(lái)了新的困難。
因此,為了有效解決2D和3D封裝過(guò)程中的內(nèi)部缺陷檢測(cè)問(wèn)題,與上述檢測(cè)方法相比,x-ray檢測(cè)技術(shù)更具優(yōu)勢(shì)。為了提高“一次通過(guò)率”,實(shí)現(xiàn)“零缺陷”的總體目標(biāo),x-ray檢測(cè)提供了更有效的故障排除方法。
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